Специальное технологическое оснащение СТО БГУИР

Под заказ для заочников БГУИР выполним рефераты

Задания по СТО

1) Антошин А.А.1.Кварцевые галогенные лампы накаливания. Галогенный регенеративный цикл.2. Резистивный нагрев.3. Классификация вакуумных насосов.

2) Баек Т.Д.  1.Оборудование для жидкостной очистки (установки непрерывного действия). 2. Преобразователи сопротивления для измерения вакуума 3. Основные параметры вакуумных насосов.

3) Башнев И.А. 1. Источники ИК-излучения. 2. Гидростатические преобразователи для измерения вакуума 3. Конструкции масс-сепараторов для установки ионной имплантации

4) Бобко М.Г. 1. Тепловые преобразователи для измерения давления. 2.Барботажные дозаторы 3. Испарительный насос

5) Вашкевич Д.И. 1. Установки для резки полупроводниковых слитков алмазным диском 2. Испарительные дозаторы 3. Источники с горячим катодом для установки ионной имплантации

6) Грудинский Д.В.1.Оборудование для полирования полупроводниковых подложек. 2 Термопарные преобразователи для измерения вакуума.3. Источник с холодным катодом для установки ионной имплантации

7)Исайко С.Н.1. Оборудование для шлифования полупроводниковых подложек.2.Магнитные преобразователи для измерения вакуума.3.Лучистый (инфракрасный)нагрев

8) Киселев М.А.1. Мембранные преобразователи для измерения вакуума.2. Объемные дозаторы.3. Классификация вакуумных насосов. Ротационные насосы.

9) Кисель А.С. 1. Оборудование для жидкостной очистки (установки периодического действмя). 2. Запорно-регулирующая арматура газовых систем. Приборы для измерения расхода газа.3. Системы сканирования ионного пучка для установки ионной имплантации

10) Ковбиченко В.А. 1. Конструкция и принцип действия ПМИ-2 (ионизационный манометр). Недостатки ПМИ-2. 2. Индукционный нагрев. 3. Система ионно-пучкового транспорта. Ускорители ионов. Фокусирующие системы.

11) Кушнер П.В. 1. Принцип работы электронных преобразователей для измерения вакуума. 2. Конструкции натекателей газа. 3. Способы интенсификации процессов жидкостной очистки.

12) Мойса В.И.1. Конструкции галогенных кварцевых ламп. Конструкции рефлекторов для ИК-нагрева. 2. Двухроторные насосы Руутса. 3.Устройство диффузионных печей

13) Молчанов М.С. 1. Ловушки для объемных насосов.2. Единицы измерения давления. Классификация вакуумметров. 3. Газовая система диффузионной печи

14) Парфенюк А.А.1. Эжекторные и диффузионные насосы. 2. Требования к ионным источникам для ионного легирования. Источники с полым катодом. 3. Виды загрязнений поверхности подложек. Классификация методов очистки.

15) Пашковец Ф.П.1.Оборудование для быстрого термического отжига (БТО). 2. Трубчатые преобразователи для измерения давления. 3. Конструкции увлажнителей.

16) Плюто А.Н. 1. Требования к газовым системам оборудования. 2. Конструкция алмазных дисков для резки полупроводниковых слитков. Способы крепления диска. 3. .Ионно-сорбционные насосы.

17) Присмыцкий К.К. 1. Поршневые насосы. Жидкостно-кольцевые насосы.    2. Компоновка и состав  установок ионной имплантации.3.Системы регулирования и поддержания температуры в диффузионных печах

18) Рачковский И.В. 1. Полирование пластин. Механическое и химико-механическое полирование. Схема полуавтомата для полирования. 2. Ловушки для диффузионных насосов. 3. Источник с поверхностной ионизацией для установки ионной имплантации

19) Романчик И.В.1.Установки для газофазной эпитаксии. 2.Магнитноразрядные насосы. 3. Конструкции фильтров для газовых систем

20) Романчик Р.А.1.Установки для жидкофазной эпитаксии. 2. Причины возникновения и способы уменьшения фоновых токов в электронных преобразователях. 3. .Многоступенчатый диффузионный насос. Ловушки для диффузионных насосов.

21) Суббота В.О. 1.Ионный источник типа «дуаплазмотрон» для установки ионной м\имплантации 2. Криосорбционный насос. 3.Установки для вакуумной эпитаксии

22) Тепляков А.Л.1. Установки для для молекулярно-лучевой эпитаксии

2. Панорамный масс-спектрометр. 3. Системы контроля в установке ионной имплантации

23) Уласик В.А.1. Магнитный масс-спектрометр. 2. Приборы для измерения расхода газов. 3. Радиоизотопный преобразователь для измерения давления.

24) Цеханович Я.А. 1. Омегатронный масс-спектрометр 2.Криоконденсационный насос 3. Классификация сухих методов очистки, их преимущества и  и недостатки по сравнению с жидкостной очисткой

25) Щетько А.Н.1. Квадрупольный масс-спектрометр 2. Основные узлы  диффузионной печи 3. Методы контроля чистоты поверхности подложек после очистки